品牌：
国产
特点：
产品负责人：
Luka产品概述
针对半导体、光伏、显示、光电元件等加工过程中在线原位薄膜检测需要,创新性提出基于弹光调制的超高速椭偏测量方法,解决了传统椭偏机械旋转偏振器件调制速率慢和无法在线原位检测等难题,实现了微秒量级超高速椭偏测量,产品性能达到国际领先水平,产品可应用在半导体、光电元件等领域的在线原位检测,实现实时质量监控和调整,可应用在半导体、光伏、显示、光电元件、新材料、生物医学等领域的在线原位薄膜或材料检测。
功能
对半导体、电介质、聚合物、金属等行业在线薄膜的厚度、折射率、方位角、相位差等多参数实时测量。
核心指标
特点
• 完全国产化
• 超高速测量:最快可达微秒量级
其他
支持不同尺寸和速率需求定制。
暂无
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