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压电千分尺调节器

品牌:piezosystem jena

特点:运动高达250µm
线性定位器的高精度调整
无机械运动

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产品详情

MICI压电千分尺调节器

MICI系列元件非常适合提高线性载物台的定位精度。它们是压电致动器,与千分尺螺钉结合安装在线性平台上。预调整由测量螺钉完成,最终的微调由MICI元件完成。通常,压电驱动系统产生高达200N的力。分辨率降至亚纳米范围。

MICI系统的主要优点是它可以很容易地安装到现有系统中。您的系统可以升级以实现亚纳米分辨率。MICI 80和MICI 200元件与Mitutoyo的152-401、152-402和197-101型千分尺驱动器兼容,MICI 180元件与SM13型“NEWPORT”千分尺驱动器相容。

在设计和谐振频率方面,新系统具有突出的特点:MICI系列的压电驱动系统采用小型紧凑的设计开发,在开环中提供从80µm(MICI 80)、180µm(MIC 180)到250µm(MICI 200)的运动范围。基于其复杂的柔性铰链设计,MICI 80的共振频率高达990Hz。

此外,MICI 80专为移动高负载质量而设计。高达20kg的负载可以精确调整。定位传感器保证了极高的定位稳定性和再现性。压电致动器在低温环境下也能工作,其延伸行为逐渐减少。

产品特性:

l运动高达250µm

l线性定位器的高精度调整

l无机械运动

l重载的精确调整

lMICI 180与“Newport”SM13系列千分尺驱动器兼容

lMICI 80和200与“三丰”的千分尺驱动器152-401、152-402和197-101兼容

 

产品应用:

l质量控制

l自动化

l光学元件的精细调整

l微型装配

 

 压电千分尺调节器

产品型号

行程 x
(µm)

     分辨率
     (nm)

谐振频率
(Hz)

产品简介

MICI 200
MICI 200 SG

 

S-703-00
S-703-01

250
200

      0.56
       6

332
332

压电千分尺调节器MICI 200,提
供了分辨率高达0.56 nm,最大
行程为250 µm 的精准调节。

 

原厂介绍

成立于1991年,piezosystem jena 为客户提供是全球领先的纳米级别的定位解决方案。我们开发的单轴,双轴,以及多轴的压电工作台可以提供亚纳米级别的分辨率,在高分辨显微镜,原子力显微镜,半导体计量学,同步加速器等诸多高精尖科技领域均得到了广泛的应用。大功率hpower压电陶瓷促动器更是在力学检测,X射线衍射,高频振动等应用领域屡获创新成果。在压电陶瓷领域深耕30余年让我们有足够的理由相信我们可以为客户提供最优质的产品及服务。我们同时还致力于对不同的客户进行定制化的服务,对特定产品进行改型,尽最大程度上满足客户的需求。

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