MICI压电千分尺调节器
MICI系列元件非常适合提高线性载物台的定位精度。它们是压电致动器,与千分尺螺钉结合安装在线性平台上。预调整由测量螺钉完成,最终的微调由MICI元件完成。通常,压电驱动系统产生高达200N的力。分辨率降至亚纳米范围。
MICI系统的主要优点是它可以很容易地安装到现有系统中。您的系统可以升级以实现亚纳米分辨率。MICI 80和MICI 200元件与Mitutoyo的152-401、152-402和197-101型千分尺驱动器兼容,MICI 180元件与SM13型“NEWPORT”千分尺驱动器相容。
在设计和谐振频率方面,新系统具有突出的特点:MICI系列的压电驱动系统采用小型紧凑的设计开发,在开环中提供从80µm(MICI 80)、180µm(MIC 180)到250µm(MICI 200)的运动范围。基于其复杂的柔性铰链设计,MICI 80的共振频率高达990Hz。
此外,MICI 80专为移动高负载质量而设计。高达20kg的负载可以精确调整。定位传感器保证了极高的定位稳定性和再现性。压电致动器在低温环境下也能工作,其延伸行为逐渐减少。
产品特性:
l运动高达250µm
l线性定位器的高精度调整
l无机械运动
l重载的精确调整
lMICI 180与“Newport”SM13系列千分尺驱动器兼容
lMICI 80和200与“三丰”的千分尺驱动器152-401、152-402和197-101兼容
产品应用:
l质量控制
l自动化
l光学元件的精细调整
l微型装配
压电千分尺调节器 | 产品型号 | 行程 x | 分辨率 | 谐振频率 | 产品简介 | |
MICI 200 |
| S-703-00 | 250 | 0.56 | 332 | 压电千分尺调节器MICI 200,提 |
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