单轴压电工作台

产品型号

行程 x, z
(µm)

分辨率
(nm)

谐振频率
(Hz)

产品简介

PX 38
PX 38 SG

T-101-00
T-101-01

39
32

0.07
0.7

760
760

X轴压电工作台PX 38 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸
多特性。

PX 100
PX 100 SG

T-104-00
T-104-01

100
80

0.2
2

790
790

X轴压电工作台PX 100 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸多特性。

PX 200
PX 200 SG

T-106-00
T-106-01

200
160

0.4
4

177
177

X轴压电工作台PX 200 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸多特性。

PX 400
PX 400SG

T-108-00
T-108-01

400
320

0.8
8

200
200

X轴压电工作台PX 400 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸多特性。

单轴压电工作台

产品型号

行程 x, z
(µm)

分辨率
(nm)

谐振频率
(Hz)

产品简介

PX 38
PX 38 SG

T-101-00
T-101-01

39
32

0.07
0.7

760
760

X轴压电工作台PX 38 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸
多特性。

PX 100
PX 100 SG

T-104-00
T-104-01

100
80

0.2
2

790
790

X轴压电工作台PX 100 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸多特性。

PX 200
PX 200 SG

T-106-00
T-106-01

200
160

0.4
4

177
177

X轴压电工作台PX 200 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸多特性。

PX 400
PX 400SG

T-108-00
T-108-01

400
320

0.8
8

200
200

X轴压电工作台PX 400 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸多特性。

PX 500
PX 1500

S-605-89
S-622-00

500
1500

1.2
3

450
180

X轴压电工作台PX 500/1500 拥有高分辨率以及超高行程最高可达1500 µm。

nanoX 200
nanoX 200 SG
nanoX 200 CAP

T-106-20
T-106-21
T-106-26

240
200
200

0.4
4
1

700
700
700

X轴压电工作台 nanoX 200 拥有高频高载荷等特性。载荷最高可达10 kg。

nano X 400
nano X 400 SG
nano X 400 CAP

T-108-20
T-108-21
T-108-26

480
400
400

0.8
8
2

400
400
400

X轴压电工作台 nanoX 400 拥有高频高载荷高行程等特性。载荷最高可达5 kg。

SCANIUS ONE

T-601-09         120 (mm)           100                 --

X轴压电工作台 SCANIUS ONE 拥有高精度，超高行程等特性。最高行程可达 120 mm。

PZ 38
PZ 38 SG
PZ 38 CAP

T-102-00
T-102-01
T-102-06

38
32
32

0.08
0.7
0.7

760
760
760

Z轴压电工作台PZ 38 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸多特性。

PZ 100
PZ 100 SG
PZ 100 CAP

T-105-00
T-105-01
T-105-06

100
80
80

1.2
3

660
660

Z轴压电工作台PZ 100 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸多特性。

PZ 200 OEM
PZ 200 SG OEM

S-626-00
S-626-01

200
160

0.4
4

625
625

Z轴压电工作台PZ 200 拥有紧凑设计，高分辨率以及高速响应等诸多特性。

PZ 400
PZ 400 SG

T-118-00
T-118-01

400
320

0.8
8

250
250

Z轴压电工作台PZ 400 拥有紧凑设计，高分辨率以及高行程等诸多特性。

PZ 700 SI

S-605-90

700

1.4

230

Z轴压电工作台PZ 700 拥有高分辨率，高行程等诸多特性。中间孔径尺寸为70 mm X 70 mm。

产品型号

行程 x, y
(µm)

分辨率
(nm)

谐振频率
(Hz) x/y

产品简介

PXY 16
PXY 16 CAP

     S-644-00
     S-644-06

16
12

0.04
1

325
    325

XY双轴压电工作台PXY 16 拥有紧凑设计，高分辨率等诸多特性。

PXY 100
PXY 100 SG
PXY 100 CAP

     T-203-00
     T-203-01
     T-203-06

100
80
80

0.2
2
1

340/480
340/480

XY双轴压电工作台PXY 100 拥有紧凑设计，高分辨率等诸多特性。

PXY 200
PXY 200 SG

     T-227-00
     T-227-01

200
160

0.4
4

350/350
350/350

XY双轴压电工作台PXY 200 拥有紧凑设计，高分辨率等诸多
特性。

nanoSXY 400
nanoSXY 400 CAP

     T-224-00
     T-224-06

400
320

0.8
1

300/450
300/450

XY双轴压电工作台nanoSXY 400拥有紧凑设计，高分辨率，高速响应，高行程等诸多特性。

 SCANIUS

two

T-602-09

150mm (x)
72mm   (y)

100 (x)
200 (y)

--

XY双轴压电工作台 SCANIUS TWO 拥有高精度，超高行程等特性。最高行程可达 150 mm (x), 72 mm (y)。

 三轴压电工作台

产品型号

行程 x, y,
z (µm)

分辨率
(nm)

 谐振频率
(Hz) x/y/z

产品简介

  microTRITOR
miniTRITOR

     T-400-00
     T-401-00

9
38

0.07
0.16

     2100/2230/2290

        540/600/500

全球最小的三轴压电工作台，
拥有高分辨率等诸多特性。

TRITOR 38
TRITOR 38 SG

     T-402-00
     T-402-01

38
30

0.07
0.8

630/685/915

三轴压电工作台TRITOR 38 拥有紧凑设计，高分辨率，高速响
应等诸多特性。

TRITOR 100
TRITOR 100 SG
TRITOR 100 CAP

     T-403-00
     T-403-21
     T-403-06

100
80
80

0.2
2
1

500/550/480

三轴压电工作台TRITOR 100 拥有紧凑设计，高分辨率，高速响应等诸多特性。

TRITOR 400
TRITOR 400 SG
TRITOR 400 CAP

T-406-00
T-406-01
T-406-06

400
320
320

0.8
35
1

180/280/140

三轴压电工作台TRITOR 400 拥高分辨率，高速响应，高行程等
诸多特性。

 五轴压电工作台

产品型号

行程 x, y , z
(µm)/ 偏摆
(mrad)

分辨率
(nm)/(µrad)

谐振频率
(Hz) x/y/z

产品简介

PENTOR
PENTOR SG

T-450-00
T-450-01

100/±280/±1.6

0.2/0.008
2/0.08

680/750/580
680/750/580

五轴压电工作台PENTOR 可实现包含偏摆在内的5个自由度的移动，最大程度地满足客户的应用需求。