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钛升华泵
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产品简介

钛升华泵

钛升华泵(TSP)一般会同离子泵一起协同装配,用来进一步提高真空系统的真空度。特别是针对一些特定的气体,如H2O, CO, CO2 和O2等具有非常好的抽气表现。钛升华泵通过电加热钛丝产生钛升华物,这些钛升华物会在真空系统内部形成膜层并同一些气体相互作用,从而进一步提高真空系统的真空度。

 

不同温度下钛膜层的最大抽气速度l/s cm-2

 

典型指标

 

SUBLI-CON51 钛升华泵控制器

 

典型指标

 

钛升华泵集成方案

VACOM钛升华泵产品除了独立提供以外,还可以同离子泵集成以组合泵的形式提供或者同真空系统集成在一起。

原厂介绍

VACOM Vakuum Komponenten&Messtechnik GmbH公司成立于1992年,是一家世界领先的真空器件和系统设备供应商。VACOM公司致力于为分析,半导体,电子,高能物理,冷原子等领域的客户提供高性能的真空产品,包括离子泵,钛升华泵,真空穿通件(光/电)等。另外,VACOM公司还可根据客户需求定制化的真空系统方案。


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