

一、产品概述
4QD 探测器是一款配备四象限二极管的探测器,能够无延迟地在示波器上显示激光束在二极管上的位置;若搭配 MRC 公司的光束稳定系统,还可在软件图表中呈现该位置,即便对于最快的波动也能精准分辨。该探测器用于测量功率分布的中心,与光束轮廓仪(无法实时显示位置,不能分辨快速运动)和快速光电二极管(完全无法测量光束位置)均有所不同。
4QD 探测器具有极高的空间分辨率,在参数适宜的情况下,分辨率可达到甚至低于 100 纳米(详见图 2)。其采用因瓦合金(一种热膨胀系数小的材料),确保了位置的长期稳定性。与 MRC 公司的紧凑型光束稳定系统配合使用时,它成为了最常用的探测器。
为方便将激光调节至传感器上,4QD 探测器的背面设有位置显示和强度显示。此外,该产品还提供真空版和洁净室版供选择。
二、技术规格
(一)核心参数


(二)补充说明
* “间隙”指二极管四个象限之间的非敏感分隔线。
该规格参数指传感器上的数值。若在传感器前方安装光学滤光片,可使用更高的功率或能量。探测器的损坏阈值仅由这些滤光片决定,灵敏度可通过电位器进行微调。
* 其中 d 表示光束直径,I 表示照射到传感器上的强度。其他参数下位置输出的计算公式详见说明书。
(三)通用数据

(四)引脚配置(FGG.0B.306.CLAD52)

三、分辨率相关

图 2:使用红色氦氖激光器测量的 4QD 探测器分辨率
四、技术图纸说明

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