一、产品概述

DEEPLIGHT 无铜硅晶圆，为稳定孤子、低损耗光子学及可重复晶圆级性能提供更洁净的硅基基础。本产品通过专利技术从衬底层面根除铜污染问题，无需改变现有光子工艺流程，且不影响代工厂兼容性，助力光子学应用从实验室走向商业化规模部署。

二、核心痛点：铜污染对光子学的影响

即使是微量铜（Cu），在晶圆加工过程中也会扩散到介质层，对高 Q 值光子电路造成多重负面影响：

• 引发热漂移与谐振不稳定性

• 增加光学损耗，降低 Q 因子

• 导致孤子形成行为不可预测

• 造成晶圆间器件性能差异

铜污染是规模化集成光子学发展的隐形障碍，严重影响商用系统的可靠部署。

三、专利技术优势

采用专属专利技术，从衬底层面阻止铜扩散到光子器件层，而非在后续流程中补偿吸收效应。

图1：硅晶圆中的铜深度分布曲线

• 提供洁净的材料平台，在整个晶圆制造和封装流程中保持光学纯度

• 无需调整现有光子工艺，与代工厂完全兼容

• 从根源上消除铜迁移带来的光学吸收和热漂移问题

四、产品规格

五、适用场景

• 微梳系统

• 激光雷达（LiDAR）

• 传感设备

• 通信系统

• 下一代相干传感、精密定时设备

六、应用案例：确定性孤子微梳

Deeplight无铜晶圆消除了铜向光子层的迁移，去除了光吸收和热漂移的一个关键来源。

凭借这种洁净的衬底基础，氮化硅微谐振器能够实现稳定且可重复的孤子形成，即使在约40GHz的低重复频率下——此时热敏感性最高。

这使得无需复杂的调谐方案就能实现确定性的耗散克尔孤子（DKS）生成，为下一代相干传感、精密定时和通信系统开启了可靠的微梳运行模式。

图2：铜污染对孤子步长的影响（左图）；在无铜硅片上制造的、FSR为100GHz的氮化硅微谐振器产生的单孤子光谱（右图）

原厂介绍

Deeplight 是一家总部位于瑞士洛桑和德国卡尔斯鲁厄的创新企业，专注于通过混合集成工艺开发超窄线宽激光与克尔梳发生器，产品广泛应用于自由空间通信、量子、激光雷达等领域。