

DataRay 公司的Beam'R2型光束轮廓仪适用于多种激光光束轮廓测量场景。该设备标配2.5微米狭缝,也可搭配大尺寸刀口狭缝,能对直径小至2微米的光束进行测量。通过选配硅基、铟镓砷或扩展型铟镓砷探测器,Beam'R2可实现190nm至2500nm波段的光束轮廓分析。相较基于相机的测量系统,扫描狭缝式仪器具备更高的测量分辨率。
DataRay 公司的BeamMap2型光束轮廓仪采用创新设计,实现了光束轮廓的实时测量。该设备在Beam'R2的测量基础上进行升级,可对光束传播路径上多个位置的参数展开测量。这款实时扫描狭缝系统在旋转探测模块的多个Z轴平面上配置了XY双狭缝组,能同时在四个不同Z轴位置完成四组光束轮廓的测量。BeamMap2拥有独特的专利设计,在焦点位置、M²因子、光束发散角及指向性的实时测量中具备显著优势。
系统特性
• 符合ISO标准的光束直径测量
• 总线供电式USB2.0接口
• 自动增益功能
• 可选配位移台配件,实现符合ISO 11146标准的M²因子测量
• True2D狭缝设计
• 0.1微米的测量分辨率
• 探测器多波段可选,覆盖190-2500nm
• 5Hz数据更新率(用户可在2-12Hz范围内调节)
• 支持高重复频率脉冲激光测量
• 脉冲激光最低重复频率=「500/(光束直径,单位:微米)」千赫
BeamMap2专属升级特性
• 多Z轴平面扫描
• 支持XYZ三维轮廓及θ-Φ角向轮廓测量
• 可测焦点位置与光束直径
• 实时输出M²因子、光束指向性及发散角数据
• 可实时测量准直性良好光束的发散角
• 具备光束准直校准功能
• 焦点定位重复精度达±1微米(精度与光束特性相关)
• 可选配LensPlate2透镜配件,实现不可及束腰的测量及波导重成像
应用场景
• 小直径光束轮廓测量
• 原始设备制造商(OEM)集成应用
• 透镜焦距测试
• 聚焦与对准误差的实时诊断
• 多组件焦点的统一实时校准
True2D狭缝
采用蓝宝石基底镀0.4微米厚金属多层膜的设计工艺。
相较空气狭缝的优势
1.避免隧道效应产生
2.空气狭缝的深度通常大于宽度,在高辐照强度下易发生形变

上图:DataRay True2D蓝宝石狭缝 vs 传统空气狭缝


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