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钛酸钡/钛酸锶晶圆

类别：

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品牌：

进口（美国）

特点：

•支持硅基、SOI 绝缘硅基、玻璃基底，还可在硅承载晶圆 3μm 非晶二氧化硅层上制备外延晶圆
•主打a 取向钛酸钡薄膜、钛酸锶外延薄膜两大核心品类
•钛酸钡：300nm、500nm
•钛酸锶：2～20nm超薄外延层
•涵盖50mm、200mm两种主流规格，适配不同工艺需求
•全系支持单面抛光、双面抛光两种表面处理方式
•实现晶向外延生长（a 取向定制），薄膜结晶质量高、适配高端微电子与光电器件应用

产品负责人：

Richard

产品详情

钛酸钡/钛酸锶晶圆


硅基或绝缘硅基(SOI)外延a取向钛酸钡薄膜

    ▪    厚度300nm或500nm

    ▪    直径200mm，单面抛光或双面抛光

硅基或绝缘硅基(SOI)外延钛酸锶薄膜

    ▪    厚度2至20nm

    ▪    直径200mm，单面抛光或双面抛光

外延钛酸锶沉积硅基底或绝缘衬底硅(SOI)

    ▪    厚度2-20nm

    ▪    直径50mm，单面或双面抛光

硅基底或绝缘衬底硅上(SOI)外延a取向钛酸钡

    ▪    厚度300或500nm

    ▪    直径50mm，单面或双面抛光

玻璃基底外延钛酸钡

    ▪    外延晶圆也可制备于硅承载晶圆上3微米厚的非晶二氧化硅层之上

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