基于碳化硅量子显微镜的磁场成像研究
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研究背景及意义:
本文首次实验研制出碳化硅(SiC)量子显微镜,利用4H-SiC中硅空位VSi自旋缺陷作为室温量子传感单元,采用双频传感、无微波成像三种探测方案,实现了通电导线电流感应磁场的宽视场成像;抑制应变与温度波动噪声,完成时空分辨磁场表征,该器件兼容晶圆级制备,可应用于生物医学成像、大功率电子器件电流/温度无损测绘。
核心研究成果:
1. 首次实现量子碳化硅显微镜(QSiCM) 实验搭建与功能验证,基于商用4H-SiC晶圆的VSi自旋缺陷开展量子磁场传感成像。
2. 开发双频传感方案,提升读出对比度、抑制应变和温度波动噪声,成像参数达:50×50虚拟像素视场、50 ms时间分辨率、30 µm空间分辨率、单像素灵敏度约2 μT⋅Hz−1/2。
3. 提出并实现基于SiC自旋能级反交叉(GSLAC-2)的无微波成像方案,无需微波场、简化装置且灵敏度进一步提升,适配微波难以施加的复杂环境。
4. 精准完成导线电流感应磁场二维重构,可无接触测电流,能定位视线遮挡下导线位置,实测电流与理论拟合高度吻合。
5. 实现脉冲电流瞬态磁场时空演化成像,可分辨35 mA微弱脉冲电流的动态磁场响应。
6. 提出生物应用集成方案,设计培养皿一体化SiC传感结构,适配倒置显微镜,可用于细胞、组织生物磁成像。
7. 指明灵敏度提升路径:同位素纯化SiC、a面晶圆、光捕获波导、等离子体增强、InGaAs相机升级等,有望将灵敏度推进至nT⋅Hz−1/2量级。
实验搭建清单: